Ajalooline Harjumaa hõlmas 20. sajandi algul 12 kihelkonda, nende nimistu leiab siit.

Seitse kihelkonda — Harju-Madise, Keila, Kose, Jüri, Harju-Jaani, Jõelähtme ja Kuusalu - asuvad tervikuna kaasaegse Harjumaa aladel. Lisaks nimetatud seitsmele kihelkonnale asuvad kaasaegse Harjumaa aladel veel kahe ajaloolise Harjumaa kihelkonna — Nissi ja Harju-Risti — keskused, kuid nende kihelkondade osa alasid ei paikne kaasaegse Harjumaa territooriumil.

Rapla kihelkond asub tervikuna kaasaegse Raplamaa aladel, samuti asub kaasaegse Rapla maakonna aladel enamik Juuru kihelkonnast. Hageri kihelkonnakeskus asub kaasaegsel Raplamaal, kuid umbes pool kihelkonnast asub kaasaegsel Harjumaal.

Ajalugu. Muinasajal (enne 13. sajandit) oli hilisema Harjumaa kohal kaks iseseisvat maakonda - Rävala ja Harjumaa.

Muinasaegne Rävala hõlmas pikki mereäärseid alasid ning kattus enam-vähem kaasaegse Harjumaa piiridega (v.a. võib-olla Kose ümbruse alad). Rävala muinasaegseks keskuseks oli Tallinna kohal paiknenud muinaslinnus (Lindanise, Kolõvan). Rävala (Revala) jagunes 13. sajandil kolmeks muinaskihelkonnaks. Repel hõlmast Tallinnast ida poole jäävauid alasid (Jõelähtme ja Kuusalu ümbruse). Ocrielae muinaskihelkond paiknes Tallinnast lõunas ning tema tuumik oli hilisema Jüri kihelkonna maadel. Kogu suurt Tallinnast lääne poole jäävat ala hõlmas Vomentagana muinaskihelkond (peamiselt hilisema Keila kihelkonna alad).

Muistne Harjumaa hõlmas ligikaudu kaasaegse Raplamaa alasid (ilma Märjamaa ja Vigala ümbruseta) ning Kose ümbrust kaasaegsel Harjumaal. Ta jagunes kolmeks muinaskihelkonnaks. Üks neist oli hilisema Rapla kihelkonna eelkäija ja paiknes Varbola ja Keava maalinnuste ümbruses. Teise muinaskihelkonna moodustasid arvatavasti Lohu maalinnuse ümbrusekonna alad (hilisema Hageri kihelkonna eelkäija). Kolmas muinaskihelkond hõlmas Kose ümbruse alasid ning oli hilisema Kose kihelkonna eelkäija. Muistne Rävala ja Harjumaa olid eraldatud Ääsmäe ja Kernu vaheliste hõreda asustusega metsa-aladega.

Ristisõdade käigus läksid nii Harjumaa kui ka Rävala Taani alluvusse. Hiljemalt 13. sajandi keskpaigaks olid nad kokku kasvanud ühtseks Harjumaaks.

Kuuele muinaskihelkonnale lisandusid ülejäänud neli keskajal ja kaks uusajal. 1220tel aastatel eraldati Repeli'i muinaskihelkonna Tallinna poolsetest aladest Jõelähtme kirikukihelkond. Juuru kihelkond moodustati Hageri kihelkonna idapoolsetest aladest umbes 1240. aasta paiku. Harju-Jaani kihelkond moodustati arvatavasti Jõelähtme kihelkonna kagupoolsetest aladest 13. sajandi lõpus. Umbes samal ajal eraldati Keila kihelkonna edelapoolsetest aladest väike Harju-Madise kihelkond.

1345. aastal siirdus Harjumaa koos Virumaaga Taani alt ordu alluvusse. 1558-83 kestnud Liivi sõja ajal olid Harjumaa alad arvukate võitluste tallemaad, suur osa sellest oli vallutatud Vene vägede poolt. Sõja järgselt kuulus Harjumaa (koos Virumaa ja Läänemaaga) Rootsile. Põhjasõjas siirdus Harjumaa koos ülejäänud Eesti aladega Venemaa koosseisu.

Harju-Risti kihelkonna alad kuulusid keskajal Padise kloostrile, sinna tekkis iseseisev kihelkond alles 17. sajandil. Nissi kihelkonna alad kuulusid muinasajal Vomentagana koosseisu. Hiljem vaadeldi Nissi ümbruse alasid nii Padise kloostri kui ka Hageri kihelkonna koosseisus. Täiesti iseseisev kihelkond tekkis Nissile 1645. aastal.